檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "Fang-Jung Shiou".ecommittee (精準) and ckeyword.raw="位移"
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本研究主要提出一套創新的Wollaston雷射光學尺量測系統,用以進行六自由度線性位移及旋轉角位移之精準量測。此套光學尺系統主要結合外差干涉術、光柵剪切干涉術、Wollaston prism共光程光…
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本研究提出一套以準共光程光路架構為設計概念的新式雷射干涉儀,用以進行六自由度位移及旋轉角量測。此套干涉儀系統結合外差、光柵剪切、麥克森干涉術等技術,具備高解析度、高穩定度及六自由度(6-DOF)之量…